本发明公开了一种碱性水系显影的负型感光性固态胶膜及其制备方法。由感光性树脂组合物制作而成，所述感光性树脂组合物包括聚酰胺酸酯、光致交联剂、光引发剂、无机填料等。本发明使用聚酰胺酸脂的碱溶性树脂，在树脂侧链引入双键，曝光后树脂可以参与交联，极大的增强了固态胶膜的性能，增加了固态胶膜在光交联阶段的挺度。固化后，部分从主链上脱离，在胶膜中起到增塑的作用，很好地增加了固态胶膜的断裂伸长率和拉伸强度，使固态胶膜的韧性好，固态胶膜含有氟结构，透光性好，可以使厚膜具有较高的分辨率。