本发明公开了一种精密测量传感器的激励信号生成方法、系统和存储介质，首先，根据激励信号的特征生成多个数字信号数据；然后，设置数字模拟转换器和直接访问存储器的基本启动参数，并设置数字模拟转换器由定时器触发启动；其次，根据激励信号的信号频率设置定时器的设备参数；最后，启动定时器，触发数字模拟转换器根据数字信号数据生成激励信号。本发明提供的精密测量传感器的激励信号生成方法能够使得在较低的设计成本和复杂度前提下，稳定生成激励信号，借助DMA和DAC的数字电路方法生成激励信号，不涉及过多的元器件设计，核心控制均通过数字电路或通过软件控制的方法来实现，这使得电路设计的门槛大幅降低，易于在精密测量行业内推广。