包含纳米胶体粒子的钽酸锂清洗剂及制备方法与用途
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种用于钽酸锂晶片表面清洗的清洗剂及其制备方法与用途,所述清洗剂包含纳米胶体粒子,还涉及所述纳米胶体粒子的制备方法及制备方法和用途,所述纳米胶体粒子包括纳米二氧化硅、阳离子型胶体稳定剂和二氧化硅吸附剂,所述清洗剂包括所述纳米胶体粒子、pH调节剂、表面活性剂、润湿剂和超纯水。所述纳米胶体粒子具有优异的稳定性、颗粒清洗和抗颗粒再沉积效果,且能杜绝破片的发生,特别适用于软脆材料表面尤其是钽酸锂晶片的清洗中,具有广阔的应用前景和工业化使用价值。

基本信息
专利标题 :
包含纳米胶体粒子的钽酸锂清洗剂及制备方法与用途
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114317132A
申请号 :
CN202111664983.5
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
侯军吕晶
申请人 :
浙江奥首材料科技有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市杜鹃路36号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111664983.5
主分类号 :
C11D1/75
IPC分类号 :
C11D1/75  C11D1/90  C11D3/60  C11D3/10  C11D3/12  C11D3/20  C11D3/22  C11D3/37  C11D11/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛
C11D
洗涤剂组合物;用单一物质作为洗涤剂;皂或制皂;树脂皂;甘油的回收
C11D1/00
主要以表面活性化合物为基料的洗涤组合物;使用这些化合物作为洗涤剂
C11D1/66
非离子型化合物
C11D1/75
胺氧化物
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C11D 1/75
申请日 : 20211231
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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