本发明属于工业加工废水处理技术领域，公开了一种锗减薄工艺加工废水的处理方法。包括如下处理步骤：将锗减薄工艺加工废水流入沉淀池加入无机高分子混凝剂进行混凝沉淀处理，处理后的废水流入反应箱加入碱性物质与双氧水的混合溶液进行处理；剩余污泥进入污泥处理池通入臭氧和碱性溶液进行处理；反应箱中处理后的出水和污泥处理池中流出的溶液经过滤后进入集水箱汇合，然后通过高压泵进入RO膜处理系统；RO膜处理系统处理后的净化水再供应锗减薄工艺加工，处理后的浓水作为含锗浓水回收。本发明处理方法有助于回收锗，处理后的净化水可以再用于锗片减薄的加工。在降低金属锗损失的同时减少了水资源的浪费。