本申请涉及一种神经电刺激电极及其制备方法，该方法包括:获取硅衬底；于硅衬底上形成牺牲层；在第一旋涂工艺条件下，于牺牲层上形成第一柔性衬底层；于第一柔性衬底层上形成电极阵列；电极阵列中各电极为铬铂合金材料；在第二旋涂工艺条件下，于电极阵列上形成第二柔性衬底层；第二柔性衬底层的厚度大于各电极的厚度；于第二柔性衬底层上形成硬掩膜层；对硬掩膜层和第二柔性衬底层进行刻蚀，以露出各电极的部分表面；去除硬掩膜层，并释放牺牲层，使得硅衬底脱落，得到神经电刺激电极；将神经电刺激电极进行电化学处理，以在各电极表面形成电极修饰层，并得到电化学处理后的神经电刺激电极。本申请可以提高神经电刺激电极的可靠性和安全性。