一种基于旋转模态的MEMS陀螺
公开
摘要
本发明提供了一种基于旋转模态的MEMS陀螺,包括锚点、弹性连接于锚点外侧的至少两个驱动结构、连接于驱动结构的质量组,以及连接相邻驱动结构的耦合梁,其特征在于,质量组包括连接于驱动结构远离锚点侧的两检测组件,两检测组件分别设置于驱动结构相对的两侧,检测组件包括均连接于驱动结构且间隔设置的两质量块以及设置于质量块下方或上方的检测换能器,质量块的至少部分延伸至驱动结构的外侧。通过将质量块与检测换能器均采用对称布局,便于实现差分检测;面外摆动模态中,大部分质量块均参与角速度敏感,采用面外大面积检测换能器检测,有效提高了陀螺检测的机电耦合系数,提高了陀螺检测的灵敏度与信噪比。
基本信息
专利标题 :
一种基于旋转模态的MEMS陀螺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353776A
申请号 :
CN202111672568.4
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
阚枭占瞻马昭杨珊严世涛彭宏韬李杨黎家健陈秋玉洪燕
申请人 :
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼
代理机构 :
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
钟连发
优先权 :
CN202111672568.4
主分类号 :
G01C19/5621
IPC分类号 :
G01C19/5621 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5607
使用振动音叉
G01C19/5621
包含微机械结构的装置
法律状态
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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