本发明公开了一种具有纳米氧化物/双尺度软磁内核功能基元的磁粉芯及其制备方法与应用。本发明使用等离子体在特定气体下处理Fe‑基非晶合金粉末和FeSi‑基晶态合金粉末的混合粉末，获得表面生成一层纳米氧化物绝缘膜的功能基元；然后在特定比例下把FeSi‑基晶态合金与Fe‑基非晶合金的功能基元粉末混合，经压制和烧结，形成兼具纳米晶和微米晶的双尺度软磁内核，最终得到高磁感高电阻率的复合磁粉芯。本发明工艺简单、环保、成本低廉，制备的功能基元表面绝缘包覆层厚度薄、均匀，包覆完整，可明显改善磁粉芯综合需求特性，可广泛应用于多种领域的中高频电子器件。