一种六工位真空排气台
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种六工位真空排气台,包括:机架,所述机架内具有真空室和加热室,所述加热室的前侧设有通过升降组件控制的柜门;所述加热室内和所述柜门内侧均铺设有铅板;真空系统,设置于所述真空室内,且所述真空系统的工作端伸入所述加热室内,连接于加热烘箱;加热烘箱,设置于所述加热室内,并通过烘箱运动装置位于加热室内上下运动;线圈升降组件,设置于所述加热室内,当所述加热烘箱位于最低处时,所述线圈升降组件向上翻折90°,当所述加热烘箱位于最高处时,所述线圈升降组件处于水平状态,位于加热烘箱原位置;辅助支撑组件,设置于所述真空室内,且若干个所述辅助支撑组件位于同一直线上,并连接于真空系统。
基本信息
专利标题 :
一种六工位真空排气台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114543450A
申请号 :
CN202111676805.4
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘辉刘畅葛国庆
申请人 :
苏州涌真光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路2001号007幢1#
代理机构 :
苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
陈宁
优先权 :
CN202111676805.4
主分类号 :
F26B5/04
IPC分类号 :
F26B5/04 F26B3/347 F26B3/353 F26B9/06 F26B23/06 F26B23/08 F26B25/02 F26B25/12 H01J9/385 H01J35/24
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/04
借助在低压下湿气的蒸发或升华,例如在真空中
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F26B 5/04
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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