本发明提供一种晶圆载具运输车，包括：运载基础框架，包括底部框架、固定框架、一组直立长杆和一组直立短杆，所述底部框架与所述固定框架平行，所述一组直立长杆和所述一组直立短杆分别与所述底部框架和所述固定框架的转角节点连接并且垂直于所述底部框架；运载台，包括底板和侧板，所述底板一边与所述运载基础框架的所述一组直立短杆固定连接，所述底板的另一边与所述侧板的一边固定连接，所述侧板的另一边与所述运载基础框架的所述一组直立长杆固定连接，所述底板和所述侧板分别与所述晶圆载具的底面和侧面紧密贴合；本发明的晶圆载具运输车能够防止晶圆在运输过程中撞落、破碎和静电吸尘，是一种高效安全、操作简单的晶圆运输工具。