一种旋涡机构及复合分子泵
实质审查的生效
摘要

本发明涉及分子泵技术领域,具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵,旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子,旋涡转子适于与驱动轴连接,旋涡定子适于与壳体本体连接,旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道,在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片,在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽,导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置,可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流,增气流压强,提高压缩比,同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况,提高抽真空效率和真空度。

基本信息
专利标题 :
一种旋涡机构及复合分子泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114352553A
申请号 :
CN202111681457.X
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张浩李兵李赏
申请人 :
北京中科科仪股份有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区中关村北二条13号
代理机构 :
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 :
汤荞赫
优先权 :
CN202111681457.X
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04  F04D29/32  F04D29/54  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04D 19/04
申请日 : 20211231
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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