复合式分子泵
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种复合式分子泵，由涡轮分子泵级与复合排气系统串联而成。其复合排气系统由外侧圆周上是涡轮短叶齿，内侧圆盘面上为抽气沟槽的复合式动叶轮与静叶轮相匹配，并同圆柱螺旋齿动隔离环复合而成。本发明结构简便，运行安全可靠，工作范围及真空性能大大超过了涡轮分子泵，可满足化工、半导体、微电子、核电子、能源、宇航等领域的等离子研究课题物理气相沉积、化学气相沉积的需要。
基本信息
专利标题 ：
复合式分子泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039287A
申请号 ：
CN88104185.8
公开（公告）日 ：
1990-01-31
申请日 ：
1988-07-12
授权号 ：
CN1012518B
授权日 ：
1991-05-01
发明人 ：
朱岳王孝珍庞世瑾
申请人 ：
中国科学院北京真空物理实验室
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村2724信箱
代理机构 ：
中国科学院专利事务所
代理人 ：
关玲
优先权 ：
CN88104185.8
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2003-09-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-04-24 ：
其他有关事项
1992-01-15 ：
授权
1991-05-01 ：
审定
1990-01-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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