双向多模态超声键合换能器
授权
摘要

本实用新型公开了一种双向多模态超声键合换能器,其包括劈刀、变幅杆、预压螺钉、第一结构压电陶瓷组、第二结构压电陶瓷组和中间块,中间块的两侧对称设有安装凸缘,整体通过安装凸缘与工作台固定连接,而安装凸缘恰好位于振动节点位置,使得振幅尽可能小,有效减小超声键合换能器向工作台传递的振动,从而减小键合系统工作时产生的噪声,同时也保证超声键合换能器的正常工作;而且工作时,具有三种纵振工作模态和一种弯振工作模态,各工作模态可以分时被单独激发,通过对各模态的综合利用,可以实现比传统超声键合换能器更优的键合质量和更高的键合效率;另外通过梯形限位块能对劈刀进行快速精确限位,给劈刀安装带来方便。

基本信息
专利标题 :
双向多模态超声键合换能器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202120481068.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-03-05
授权号 :
CN216396964U
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
隆志力陈子田赵恒叶书苑
申请人 :
哈尔滨工业大学(深圳)
申请人地址 :
广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
代理机构 :
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 :
陈培琼
优先权 :
CN202120481068.1
主分类号 :
B06B1/06
IPC分类号 :
B06B1/06  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递(其特殊物理或机械方法见有关小类,如B07B1/40,B22C19/06,B23Q17/12,B24B31/06,E01C19/22;机械振动的测量,包括发生与测量的结合入G01H;利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00;勘探用地震能的产生入G01V1/02;机械振动的控制入G05D19/00;声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00;声波的合成入G10K15/02;压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00;有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2022-04-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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