用于微电子封装的双向振动热超声换能器
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种用于微电子封装的双向振动热超声换能器,其包括换能部分和聚能部分,所述换能部分包括后盖板、弯振压电陶瓷片组、间隔环、纵振压电陶瓷片组、安装环和前盖板;所述聚能部分包括变幅杆及设置在该变幅杆端部的键合装置,所述换能部分通过预紧螺栓与所述变幅杆相连接。采用半圆环压电陶瓷片与整圆环压电陶瓷片结合的方式,采用相同频率不同相位的正弦电压分别激励,实现热超声换能器的轴向振动与径向振动共同激发,满足热超声换能器双向振动的要求,有效解决一维纵向能量在键合时存在结合面不充分等问题,提升键合效果,确保键合点的可靠性,延长使用寿命。

基本信息
专利标题 :
用于微电子封装的双向振动热超声换能器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920802337.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-30
授权号 :
CN211247229U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
隆志力胡广豪马文举李祚华
申请人 :
哈尔滨工业大学(深圳)
申请人地址 :
广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
代理机构 :
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 :
刘晓敏
优先权 :
CN201920802337.2
主分类号 :
B06B1/06
IPC分类号 :
B06B1/06  H01L21/607  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递(其特殊物理或机械方法见有关小类,如B07B1/40,B22C19/06,B23Q17/12,B24B31/06,E01C19/22;机械振动的测量,包括发生与测量的结合入G01H;利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00;勘探用地震能的产生入G01V1/02;机械振动的控制入G05D19/00;声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00;声波的合成入G10K15/02;压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00;有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2022-05-17 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B06B 1/06
申请日 : 20190530
授权公告日 : 20200814
终止日期 : 20210530
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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