工作台盖板装置及光学检测设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种工作台盖板装置及光学检测设备。工作台盖板装置包括底座、盖板组件、平移驱动机构、第一导向机构、若干升降驱动机构、支撑机构和第二导向机构;盖板组件的下盖板设于底座上,上盖板可移动地设于下盖板的上方;平移驱动机构设于底座上并能驱动上盖板沿第一水平方向移动;第一导向机构设于底座上并能导向上盖板沿第一水平方向的移动;若干升降驱动机构设于底座上并分别位于底座沿第一水平方向的两侧,且能驱动上盖板沿竖直方向升降;支撑机构包括连接于升降驱动机构输出端以支撑上盖板的支撑件;第二导向机构能导向上盖板的升降并能随上盖板沿第一水平方向移动,底座沿第一水平方向的两侧均设有第二导向机构和第一导向机构。
基本信息
专利标题 :
工作台盖板装置及光学检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121080095.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-05-19
授权号 :
CN216560899U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
陈林锋王林高亮
申请人 :
苏州维嘉科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区独墅湖科教创新区创苑路188号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN202121080095.4
主分类号 :
G01R31/308
IPC分类号 :
G01R31/308
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置;在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66;线路传输系统的测试入H04B3/46)
G01R31/08
探测电缆、传输线或网络中的故障
G01R31/14
所用的电路
G01R31/308
使用非电离电磁辐射,如光辐射
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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