一种用于双参量测量的单波长双模谐振片上传感器
授权
摘要
本实用新型公开一种用于双参量测量的单波长双模谐振片上传感器,包括双模谐振腔、折射率调控层、电极、耦合器、单波长激光器、光电探测器、波导、绝缘层和衬底层;所述的折射率调控层位于双模谐振腔上方,所述的绝缘层和衬底层从上到下依次位于双模谐振腔下方,所述的波导与双模谐振腔位于同一层,用于实现对双模谐振腔的光场耦合;所述的电极设置有两个,其中一个位于波导上,另一个位于折射率调控层上,用于实现对折射率调控层的外电场调控;所述的耦合器置于波导的两端,用于实现光场耦合,所述的单色激光器和光电探测器分别连接耦合器。该传感器克服了传感测量中难以避免的交叉敏感现象,利用单波长测量双模谐振腔进而实现双参量测量。
基本信息
专利标题 :
一种用于双参量测量的单波长双模谐振片上传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121101734.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-05-21
授权号 :
CN216283567U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
程振洲韩森淼杨仕琪覃缘陈威成邢正坤刘铁根
申请人 :
天津大学
申请人地址 :
天津市南开区卫津路92号
代理机构 :
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 :
刘子文
优先权 :
CN202121101734.0
主分类号 :
G01D5/34
IPC分类号 :
G01D5/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置;将传感构件的输出变换成不同变量的装置,其中传感构件的形式和特性不限制变换装置;非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置,即应用红外光、可见光或紫外光
G01D5/32
利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞
G01D5/34
利用光电元件检测光束
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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