一种挡板结构及真空提纯设备
授权
摘要

本实用新型涉及真空提纯设备领域,公开了一种挡板结构及真空提纯设备,将石英管和真空腔体通过第一阻挡结构连通,石英管内设置与舱门间隔布设的第二阻挡结构,第一阻挡结构和第二阻挡结构均为上述挡板结构;气体流经第一阻挡结构,第一锥形环的外壁起到阻挡受热升华的材料穿过第一锥形通道的作用,降低了进入真空腔体中的材料,避免材料沉积在真空泵组中,不仅能保证气体的流通效果,还具有较好的阻挡效果,延长了真空泵组的保养周期及使用寿命,减少了在第一阻挡结构下游的真空腔体内的材料沉积,降低了真空提纯设备真空腔体的清理难度;第二阻挡结构起到吸热和屏蔽热辐射的功能,避免因舱门过热而导致操作人员烫伤,降低了热量外散。

基本信息
专利标题 :
一种挡板结构及真空提纯设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121688815.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-07-23
授权号 :
CN216157843U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
陈智学陈建明陈志宽黄维
申请人 :
宜兴凡远光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市宜兴市丁蜀镇潜洛村
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
任德欣
优先权 :
CN202121688815.5
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14  F04B39/00  F04B39/12  E06B7/23  E06B7/28  E06B5/00  E06B5/16  E06B7/082  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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