一种硬脆材料的刷洗装置
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摘要

本实用新型公开了一种硬脆材料的刷洗装置,包括:刷洗部,所述刷洗部包括至少一根滚筒刷和至少一根喷淋管;传动部,所述传动部包括端部齿轮组件和一根水平布置的从动轮轴,所述端部齿轮组件包括至少两个相啮合的正齿轮,从动轮轴与端部齿轮组件的其中一个正齿轮连接传动,端部齿轮组件的其余正齿轮与滚筒刷连接传动;驱动部,所述驱动部与从动轮轴连接,用于驱动所述从动轮轴转动。本装置利用喷淋管湿润硬脆材料,以滚筒刷刷洗硬脆材料,使得附着在硬脆材料表面的粉末和颗粒可以被清洁掉。避免真空会把这些粉末和颗粒通过硬脆材料和研磨盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面上。

基本信息
专利标题 :
一种硬脆材料的刷洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121807258.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-04
授权号 :
CN216225654U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
朱亮沈文杰赵志鹏魏圳辰葛彦杰倪少博汤承伟张帅
申请人 :
浙江求是半导体设备有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层
代理机构 :
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 :
朱莹莹
优先权 :
CN202121807258.4
主分类号 :
B08B1/04
IPC分类号 :
B08B1/04  B08B1/00  B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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