一种量具
授权
摘要
本申请公开了一种量具,用于对晶圆传送盒的前门的卡槽结构进行测量,量具包括:主体,沿第一预设方向延伸;测量结构,包括设置于主体的一侧面上的多个第一标识,多个第一标识沿第一预设方向间隔排布;第一标识的数量大于或等于卡槽结构中支撑块的数量,第一标识沿第一预设方向的宽度等于8毫米,且相邻两第一标识之间的间距等于3毫米。使用量具对卡槽结构进行测量时,量具的主体沿第一预设方向延伸,此时第一预设方向即为支撑块的排布方向,此时可通过调整量具的位置,使得支撑块与第一标识一一对应,当存在支撑块与对应的第一标识出现对位偏差时,即表明相邻两支撑块之间的间距出现偏差,从而可以通过量具对卡槽结构进行测量。
基本信息
专利标题 :
一种量具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122039195.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-26
授权号 :
CN216645120U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
邓徐鎏
申请人 :
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 :
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 :
张琦
优先权 :
CN202122039195.9
主分类号 :
G01B5/00
IPC分类号 :
G01B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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