加速度传感器芯片
授权
摘要
本申请公开了一种加速度传感器芯片，加速度传感器芯片包括基座、支撑梁、质量块和压电件，基座包括外框体和通腔，支撑梁由外框体向通腔的中心延伸，质量块设置于通腔内并搭载于支撑梁。压电件设置于质量块的一侧表面上，沿厚度方向上压电件在第一表面上的正投影面积大于所述支撑梁在第一表面上的正投影面积。即将压电件和支撑梁分开设置，在通过支撑梁保证加速度传感器芯片的机械灵敏度的同时，使沿厚度方向上压电件在第一表面上的正投影面积大于支撑梁在第一表面上的正投影面积，来提高加速度传感器芯片的电荷输出量。
基本信息
专利标题 ：
加速度传感器芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122056505.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-30
授权号 ：
CN216350791U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
聂泳忠徐兵兵焦文龙杨文奇
申请人 ：
随芯（上海）科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区纳贤路799号1幢一层A单元
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
娜拉
优先权 ：
CN202122056505.8
主分类号 ：
G01P15/09
IPC分类号 ：
G01P15/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/09
应用压电变送器
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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