本发明提供法珀光学MEMS加速度敏感芯片、增敏方法及传感器，所述法珀MEMS加速度敏感芯片由可动镜面、腔体、固定镜面组成；所述可动镜面包含固定框架、光子晶体平板质量块、支撑弹簧，其中，可动镜面的表面刻蚀有呈周期性排列的第一通孔形成第一二维光子晶体结构，固定镜面的表面刻蚀有与所述可动镜面相同周期性排列的第二通孔形成第二二维光子晶体结构，所述第一二维光子晶体结构、腔体和第二二维光子晶体结构共同构成法布里珀罗腔。本发明提供的增敏方法可以通过对二维光子晶体通孔的占空比的设计来调节法布里珀罗腔的反射率，进而达到增加加速度传感器灵敏度的作用，此外，该方法具有增敏适用波长范围宽、实现方法简单的优势。