一种新型籽晶旋转装置
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摘要
本实用新型涉及硅晶生产设备领域,涉及一种新型籽晶旋转装置,本实用新型包括籽晶腔体、滑线环固定块、滑线环、滑线环支架和籽晶腔体固定板,籽晶腔体设于籽晶腔体固定板,滑线环固定块设于籽晶腔体上端,滑线环设于滑线环固定块上,滑线环支架连接滑线环;旋转机构,设置于籽晶腔体固定板下端;升降机构,设置于籽晶腔体固定板右端;绳轮组件,设置于籽晶腔体内部,包括花键轴、花键轴螺母、绳轮、特氟龙螺母、不锈钢螺母和固定板,花键轴螺母连接花键轴,绳轮固设于绳轮花键轴螺母,不锈钢螺母通过轴承固定于固定板上,带动绳轮运动的螺牙采用内嵌式,使整个绳轮结构尺寸更小,同时减小了腔体尺寸,降低了整个结构的成本。
基本信息
专利标题 :
一种新型籽晶旋转装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122066907.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-30
授权号 :
CN216274466U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
杨雷
申请人 :
浙江晶阳机电股份有限公司
申请人地址 :
浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇镇保路72号2号楼
代理机构 :
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王家蕾
优先权 :
CN202122066907.6
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06 C30B15/30 C30B15/28
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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