一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装
授权
摘要
本实用新型提供了一种气体分配器平面度检验工装，包括工装本体(1)，所述工装本体(1)包括用于对气体分配器(4)进行定位的定位块(1‑1)、使气体分配器(4)直立的挡块(1‑2)，所述挡块(1‑2)的高度大于定位块(1‑1)的最大高度，所述挡块(1‑2)上设置有固定孔(1‑21)，所述工装本体(1)的四周对称设有定位板(1‑3)。本实用新型提供还提供一种组合检验工装，包括多个所述的气体分配器平面度检验工装、连接板(2)。本实用新型的气体分配器平面度检验工装，结构简单实用，无需翻面即可实现气体分配器的双面检测，本实用新型的组合检验工装能够实现气体分配器的批量检测。
基本信息
专利标题 ：
一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122171500.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-09
授权号 ：
CN216348520U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
翟子健游利管明月
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市经济开发区新港大道195号
代理机构 ：
南京志同舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈瑜
优先权 ：
CN202122171500.X
主分类号 ：
G01B21/30
IPC分类号 ：
G01B21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/26
••用于检测轮子的准直度
G01B21/30
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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