一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122226371.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-15
授权号 ：
CN216427487U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
卢其才
申请人 ：
卢其才
申请人地址 ：
四川省成都市龙泉驿区大面街道金桉路88号百悦国际中心16层1626室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122226371.X
主分类号 ：
C30B31/10
IPC分类号 ：
C30B31/10 C30B31/16 C30B29/06 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/10
反应室；其所用材料的选择
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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