晶圆夹具以及晶圆转移机械臂
授权
摘要
本实用新型公开了晶圆夹具以及晶圆转移机械臂，包括：至少一个托爪盘，托爪盘上设置有至少两个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间；限位装置，限位装置包括推杆和驱动机构，驱动机构用于驱动推杆朝向收容空间移动，以使得位于收容空间内的晶圆边缘被夹持于推杆和托爪块之间。本实用新型通过设置限位装置，将位于收容空间内的晶圆进一步夹持限位在推杆和托爪块之间，从而避免晶圆夹具在带动晶圆移动过程中，晶圆因惯性在收容空间内晃动，甚至脱离收容空间，从而提高了晶圆转移的安全性，并且有利于提高晶圆转移速度。
基本信息
专利标题 ：
晶圆夹具以及晶圆转移机械臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122263442.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-17
授权号 ：
CN216288367U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
吴功倪萌国建花
申请人 ：
上海大族富创得科技有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
代理机构 ：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王瑞
优先权 ：
CN202122263442.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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