本实用新型公开了一种制氧系统气体分配阀、制氧部件及制氧机，制氧系统气体分配阀包括：阀体，设置有滑动通道、进气通道、至少一个制氧通道、排气通道及先导通道，进气通道、制氧通道和排气通道依次分布且均与滑动通道连通。阀芯组件，滑动连接于滑动通道，阀芯组件包括阀杆、膜片、密封件和弹性件，膜片的边缘被阀体密封固定。膜片和阀体之间形成先导腔，先导腔与先导通道连通。密封件活动于滑动通道内，弹性件抵接于阀体，密封件在弹性件的弹性力作用下具有将排气通道和制氧通道隔开的趋势。先导组件，安装于阀体。进气通道与制氧通道导通以处于常开状态，从而避免水汽自排气通道逆流进入制氧通道内，系统稳定性好。