一种光谱共焦内径测量探头
授权
摘要
本实用新型公开了一种光谱共焦内径测量探头，包括固定架，所述固定架上安装有光谱共焦探头，光谱共焦探头远离固定架的一端安装有直角反射镜，直角反射镜设置于工件圆孔内。本光谱共焦内径测量探头，利用光谱共焦测量原理将位移信息变换到波长信息中去，在光谱共焦探头前端加一个90度直角反射镜，形成小型探头，结合多测头静态测量方式，对工件圆孔内部进行测量，实现了内径尺寸的微米级高精度测量，采用线光源进行光谱共焦测量，不同波长的单色光色散至工件圆孔的两侧内壁，并以相反的方向再次通过色散组件经由光源耦合器传导至光谱信号接收组件，可以有效的改善光谱共焦测量系统的测量精度，从而减少测量误差，提高测量精度。
基本信息
专利标题 ：
一种光谱共焦内径测量探头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122349789.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-27
授权号 ：
CN216206068U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
吴新峰华志超周远荣周羊华王海涛
申请人 ：
泰州市计量测试院
申请人地址 ：
江苏省泰州市江州南路105号
代理机构 ：
江苏圣典律师事务所
代理人 ：
朱如兵
优先权 ：
CN202122349789.X
主分类号 ：
G01B11/12
IPC分类号 ：
G01B11/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/08
用于计量直径
G01B11/12
内径
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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