喷头及检测设备
授权
摘要
本申请实施例公开了一种喷头，包括主体和喷嘴，所述主体具有试剂容置槽；所述喷嘴与所述主体连接，所述喷嘴远离所述主体一侧设置为弧形面，所述弧形面背离所述主体凸出设置，所述喷嘴上具有多个出液孔，多个所述出液孔贯穿所述弧形面，且与所述试剂容置槽连通，本申请实施例中，该喷头能够降低待反应物黏附至喷头上的概率，进而提高检测实验的准确性。
基本信息
专利标题 ：
喷头及检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122386425.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
CN216648230U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
程志
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 ：
张琦
优先权 ：
CN202122386425.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/66 B05B1/14 B05B15/50 B05B13/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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