一种可调节翘曲角度的推舟装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调节翘曲角度的推舟装置，包括：推舟背板、背板升降机构、翘曲角度调节机构和推舟桨，推舟背板上设有滑动座，滑动座上设有用于驱动推舟桨沿水平方向上下摆动的翘曲角度调节机构；推舟桨包括柄部、承载部和固定板，柄部的一端与承载部连接，柄部的另一端与固定板连接；所述翘曲角度调节机构上设有用于调节承载部翘曲角度的调节机构，调节机构包括凸轮组件、凸轮驱动组件和调节板，调节板分别与凸轮组件和固定板连接，在凸轮驱动组件的驱动下，凸轮组件带动调节板沿水平方向上下摆动，以实现承载部翘曲角度调节。本实用新型具有结构紧凑、运行可靠、易于控制等优点，有效避免了推舟桨与石英炉管反应室发生碰撞。
基本信息
专利标题 ：
一种可调节翘曲角度的推舟装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122391298.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
CN216413028U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
曾昭贤成秋云李晔纯郭艳朱恒
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
覃族
优先权 ：
CN202122391298.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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