一种单多晶硅棒自动检测装置
授权
摘要

本实用新型涉及晶硅加工设备技术领域,具体为一种单多晶硅棒自动检测装置,包括检测台和设置在检测台两侧的进料输送机和排料输送机,检测台底部设有支撑部,检测台顶部靠近排料输送机的一侧设有斜面,检测台顶部另一侧设有一底部为圆弧形的检测槽,检测槽内设有抬升组件和检测组件,抬升组件包括设置于检测槽底部沿检测槽高度方向可移动的抬升板和检测台上开设有的可容纳抬升板的第一安装槽。本实用新型设置抬升组件、夹持机构和光电传感器,抬升组件能够对实现硅棒的抬升检测以及检测后的排料,夹持机构能够方便对硅棒进行检测固定,而且能够带动硅棒进行旋转,在光电传感器的配合下,实现硅棒侧壁的全面快速的检测。

基本信息
专利标题 :
一种单多晶硅棒自动检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122394178.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-30
授权号 :
CN216283269U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
李德平何丹
申请人 :
山东润马光能科技有限公司
申请人地址 :
山东省东营市开发区潍河路39号217室
代理机构 :
苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李竞
优先权 :
CN202122394178.7
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  G01B11/24  G01B11/26  G01B11/27  G01N21/952  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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