一种单多晶硅棒自动检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种单多晶硅棒自动检测装置，属于晶硅加工设备技术领域，包括底座，底座上沿着晶硅的输送方向设置有上下料单元和外形检测单元，所述上下料单元固设在外形检测单元的两侧，用上料和下料，所述外形检测单元的上方设置有上下料移载单元，用于移载晶硅，上下料移载单元上还固设有硬质点检测单元，用于对晶硅进行硬质点检测，能够快速、精确的检测晶硅的表面以及内部的硬质点，检测精度和检测效率极大提高，增加产能，显著降低晶硅的废料比，为晶硅加工全流程的自动化提供可靠保证。
基本信息
专利标题 ：
一种单多晶硅棒自动检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020087018.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-15
授权号 ：
CN211085127U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
朱佰庆李璐邢旭王鹏李贤东张毅
申请人 ：
长治高测新材料科技有限公司
申请人地址 ：
山西省长治市潞州区黄碾镇西旺村
代理机构 ：
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
任漱晨
优先权 ：
CN202020087018.0
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B11/24 G01B11/26 G01B11/27 G01N21/952
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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