多晶硅棒
授权
摘要
如下所述的多晶硅棒显示出良好的FZ、L％值：其是以甲硅烷作为原料而培育出的多晶硅棒，其中，从任意的部位采取以与其径向垂直的截面作为主面的板状试样，由对该板状试样的主面照射电子射线而得到的电子背散射衍射图像求出的结晶粒径处于0.5～10μm的范围，并且平均粒径处于2～3μm的范围。此外，在板状试样的主面测定的热扩散率的值在25±1℃时处于75～85mm2/秒的范围的多晶硅棒显示出良好的FZ、L％值，适合作为单晶化原料。
基本信息
专利标题 ：
多晶硅棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107848808A
申请号 ：
CN201680044994.4
公开（公告）日 ：
2018-03-27
申请日 ：
2016-08-02
授权号 ：
CN107848808B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
宫尾秀一冈田淳一祢津茂义
申请人 ：
信越化学工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
盛曼
优先权 ：
CN201680044994.4
主分类号 ：
C01B33/02
IPC分类号 ：
C01B33/02
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2018-10-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 33/02
申请日 : 20160802
申请日 : 20160802
2018-03-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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