本申请涉及一种硅晶板故障检测装置，涉及硅钢板检测技术的领域，其包括工业相机、照明光源和工作台，工作台上设有台座，台座上开设有气槽，台座上固定有用于将气槽槽口遮住的盖板，盖板上开设有若干与气槽连通的通孔，台座侧壁连接有进气管和抽气管，进气管和抽气管上均连接阀门，工作台上设有用于移动硅晶板的机械手，机械手终端安装有真空吸盘，工业相机架设在盖板上方，照明光源位于工业相机下方。本申请具有实现硅钢板检测自动化、提高检测精度的效果。