一种扩散硅高静压微差压传感器
授权
摘要

本实用新型提供一种扩散硅高静压微差压传感器,涉及微差压传感器技术领域,包括防护装置和传感器本体,所述防护装置的底部内壁与传感器本体的底部活动连接,所述防护装置包括顶盖、防护壳、移动杆和滑杆,所述防护壳的一端开设有开槽。本实用新型通过增加防护装置,活动外壳可以在不使用时可以对压力输入端进行防护,避免压力输入端破损,拉杆方便移动该传感器本体,解决了实际操作过程中传感器本体容易掉落以及微差压传感器在运输过程中容易破损等问题,通过设置静压芯片组件和差压芯片组件,两个静压芯片组件和两个差压芯片组件的结构,结构简单易于制造,同时可以在较高工作压力下检测微小的差压变化,并可同时检测高压压力值与微差压值。

基本信息
专利标题 :
一种扩散硅高静压微差压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122459535.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-13
授权号 :
CN216433359U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
单森林
申请人 :
阿尔法仪器(天津)有限公司
申请人地址 :
天津市西青区华苑产业区火炬大厦2001室
代理机构 :
天津津中今知识产权代理有限公司
代理人 :
李嫱
优先权 :
CN202122459535.3
主分类号 :
G01L13/00
IPC分类号 :
G01L13/00  G01L19/14  G01L19/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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