微差压传感器组件及电子设备
公开
摘要
本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元，第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感测区域。在本方案中，处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差，可以实现流量的高灵敏检测。另外，处理器基于该温差，可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值，有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。
基本信息
专利标题 ：
微差压传感器组件及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608664A
申请号 ：
CN202210219121.X
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢国伟颜培力夏颖朱伟琪金怡
申请人 ：
上海矽睿科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市长宁区定西路1328号3楼307室
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
徐叶馨
优先权 ：
CN202210219121.X
主分类号 ：
G01F1/34
IPC分类号 ：
G01F1/34 G01F15/02 G01F15/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/05
应用机械效应
G01F1/34
通过测量压力或压差
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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