一种变换角度的提升装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种变换角度的提升装置,包括:滑动载台,沿滑动载台作线性运动的第一滑块与第二滑块,第一滑块位于第二滑块的上方,以及两个分别安装于滑动载台两侧的支架,支架接近滑动载台的一侧形成滑动轨道。第一滑块上固定设置第一握持部,第二滑块上活动铰接第二握持部,第二握持部的两侧分别固定设置用于在滑动轨道内滚动的滚轮。其中,滑动轨道包括与滑动载台平行的平行轨道以及用于改变滚轮的运动方向的变角轨道。通过本申请,实现将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置,并在提升后变换角度将花篮竖直放置。

基本信息
专利标题 :
一种变换角度的提升装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122480336.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-15
授权号 :
CN216190763U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
刘国强张洋孙海洋
申请人 :
智程半导体设备科技(昆山)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
代理机构 :
苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龚心怡
优先权 :
CN202122480336.0
主分类号 :
B66F7/14
IPC分类号 :
B66F7/14  B66F7/28  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B66
卷扬;提升;牵引
B66F
不包含在其他类目中的卷扬、提升、牵引或推动,如把提升力或推动力直接作用于载荷表面的装置
B66F7/00
升降架,如用于起升车辆;平台起落机构
B66F7/10
平台直接由千斤顶支承的
B66F7/12
用机械千斤顶的
B66F7/14
螺旋式的
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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