一种夹持效果好的电镀装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种夹持效果好的电镀装置,包括电镀台和电镀池,还包括夹持机构和导镀机构,所述夹持机构包括手持板,所述手持板的表面固定连接有空管,且空管的顶端管口处插入有弹性胶杆,通过设有夹持机构,将晶圆片向下塞入空心环盘表面的C形夹板处卡入,此时握住手持板将C形夹板和晶圆片向电镀台的电镀池内放入进行电镀,电镀完成后,晶圆片和C形夹板向上提出电镀池后侧向放置在收料区域,然后使用弹性胶杆从空管和空心环盘处插入C形夹板之间,借助弹性胶杆插入从C形夹板之间抵出电镀完成后的晶圆片,实现了电镀台处的简单有效夹持电镀。

基本信息
专利标题 :
一种夹持效果好的电镀装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122557275.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-20
授权号 :
CN216473551U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
刘圣宝
申请人 :
博罗县环贸精密电镀有限公司
申请人地址 :
广东省惠州市博罗县龙溪镇龙桥大道
代理机构 :
北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李迪
优先权 :
CN202122557275.3
主分类号 :
C25D17/06
IPC分类号 :
C25D17/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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