一种硅片切割液资源化利用装置
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摘要
本实用新型涉及一种硅片切割液资源化利用装置。包括：酸化池，用于对硅片切割液的pH调节至酸性；超滤膜，连接于酸化池，用于对酸化后的硅片切割液进行超滤处理；压滤机，连接于超滤膜的浓缩侧，用于对超滤膜的浓缩液进行压滤处理；有机膜，连接于压滤机的渗透侧，用于对压滤机的渗透液进行滤除有机物杂质处理；金刚线切割装置，连接于超滤膜和有机膜的渗透侧，用于采用超滤膜和有机膜得到的滤液作为切割液进行硅片切割作业。有效地回收了硅片切割液中的固体粉末，并同时利用纳滤膜对切割液中的有机物进行去除；另外，通过纳滤膜和超滤膜进行滤液调配后，将滤液的量控制于切割作业的可接受程度，使得混合得到的渗透液能够适用于再次的切割加工。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片切割液资源化利用装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122562882.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-23
授权号 ：
CN216427235U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
刘乐天罗小勇王道龙范丛军吴正雷庄力金同发王磊
申请人 ：
江苏久吾高科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口经济开发区步月路195号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122562882.9
主分类号 ：
C10M177/00
IPC分类号 ：
C10M177/00 C10M175/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C10
石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤
C10M
润滑组合物；在润滑组合物中化学物质或单独使用或用作润滑组分
C10M177/00
制备润滑组合物的专用方法；用对组分的或整个润滑组合物的后处理进行其他类中所不包括的化学改性
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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