一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构
授权
摘要
本实用新型公开一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构，包括运动部和吸头部，所述运动部包括X轴轨道和滑移连接在X轴轨道上的Y轴轨道，所述吸头部滑移连接在Y轴轨道上，所述吸头部包括直接连接在Y轴轨道上的安装座和设置在安装座内的IC吸头组，所述IC吸头组包括若干个IC吸头和对应每个IC吸头配置的微调组件，本实用新型的优点在于可以实现该IC吸头拾放机构在X轴和Y轴上的大跨度转移动作以及应对不同托盘中的晶圆摆放布局及设备其它工位晶圆的定位布局，提高了该IC吸头拾放机构的工况适配性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆分拣机用的IC吸头拾放机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122579077.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
CN216174413U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
季林卞则军
申请人 ：
苏州博康智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇凤南路99号1栋2楼C区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122579077.7
主分类号 ：
B07C5/36
IPC分类号 ：
B07C5/36 B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选
B07C5/36
以其分配方式为特征的分选装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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