一种双工位电导率测试仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种双工位电导率测试仪，属于半导体材料性能参数测试技术领域，包括底板、设于底板上的工作台和龙门框架，工作台下方设有电机，龙门框架上设有移动滑轨和升降气缸，升降气缸上设有第一电磁测试探头、激光位移传感器和第二电磁测试探头，在工作台上设有凹槽，凹槽内设有第三电磁测试探头，待测样品置于工作台上方，电机可带动工作台进行旋转，移动滑轨带动测试探头进行水平移动，升降气缸带动测试探头进行垂直移动。该电导率测试仪可对半导体材料上的不同位点的电导率进行测量，同时可实现双工位测量，适用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种双工位电导率测试仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122580917.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
CN216526033U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
党小锋刘全义张月兰
申请人 ：
九域半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星湖街328号创意产业园4-B201-024单元
代理机构 ：
苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李竞
优先权 ：
CN202122580917.1
主分类号 ：
G01R27/02
IPC分类号 ：
G01R27/02 G01R1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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