本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，提供了一种回收装置和清洗系统，回收装置包括：多个相互套设环形回收组件，环形回收组件包括壳体，壳体包括工作腔；第一导流组件，设置于工作腔内，第一导流组件包括第一通道；第二导流组件，设置于工作腔内，第二导流组件包括第二通道；其中，第一通道和第二通道为环形通道，第一通道和第二通道相互独立设置，第一通道用于对工作腔内的废气进行回收，第二通道用于对工作腔内的废液进行回收。通过设置多个相互套设环形回收组件，即设置多重气液回收装置，能够根据不同的工序使用不同的气液回收通道，实现了不同工序的废液、废气的分开收集及排放，实现不同成分的气液回收，提高了回收气液的利用率。