工艺炉内支承机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种工艺炉内支承机构，从机械臂向前伸出一根支撑杆，在支撑杆的长度方向上至少设有前后两个夹具组件，每个夹具组件同时连接支撑杆和支撑杆下方的并排设置的多根支承杆，多根支承杆长度相同且相互之间等间隔并排设置，支承杆向前伸出的自由端上设有端部组合件，端部组合件将多个支承杆的自由端并列联接在一起。本实用新型使碳化硅杆组件受力更均匀，在同等的宽度条件下，承受重量更大，同时碳化硅杆制作简单，价格低廉。
基本信息
专利标题 ：
工艺炉内支承机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122654747.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
CN216213309U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
陈庆敏李丙科张海洋
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
熊启奎
优先权 ：
CN202122654747.7
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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