一种用于过滤低波长UV光的水冷罩子
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于过滤低波长UV光的水冷罩子，由上层水冷罩子和下层水冷罩子叠加构成，而形成双层水冷罩子；所述上层水冷罩子的侧端设置有自来水进口、自来水出口；所述下层水冷罩子的侧端设置有冰水进口、冰水出口。本实用新型采用双层结构的水冷罩子将波长200nm以下的UV光过滤掉，使得曝光时板面温度不会过高，实现冷UV曝光。此外，通过水冷方式有助于UV灯管的散热，进一步确保了曝光时板面温度不会过高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于过滤低波长UV光的水冷罩子
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122667351.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-02
授权号 ：
CN216485982U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
肖啟全徐晶吴小清林耿弘
申请人 ：
长兴（广州）光电材料有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区瑞和路8号
代理机构 ：
广州广信知识产权代理有限公司
代理人 ：
李玉峰
优先权 ：
CN202122667351.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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