一种深紫外偏振棱镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种深紫外偏振棱镜，包括两个直角棱镜，两个所述棱镜分别为四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体，两个所述直角棱镜具有相同切割角，两个所述棱镜晶体光轴方向平行，同时，两个晶轴方向与棱镜的入射面和出射面平行，两个所述棱镜通过空气隙、光胶或者胶水配合在一起，所述振棱镜用于深紫外波段到180nm，尤其是可以用于ArF光刻使用的193.368nm波长下，同时也可以用于可见光和近红外波段。通过四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体这两种材料设计新型的深紫外偏振棱镜，满足深紫外波段尤其是光刻波段193nm的使用，同时该棱镜还兼具可以在紫外、可见光和近红外使用，可以双通道使用，大视场角，具有较高透过率的技术特点，还具有高性价比的经济特点。
基本信息
专利标题 ：
一种深紫外偏振棱镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122682099.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-04
授权号 ：
CN216351324U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
黄素美
申请人 ：
福州美扬光电有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市仓山区盖山镇阳岐路61号金山工业集中区福湾片区福州通洲实业有限公司1号厂房第二层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122682099.6
主分类号 ：
G02B5/30
IPC分类号 ：
G02B5/30 G02B5/04 G02B1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/30
偏振元件
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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