一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置，包括设备本体和清洗喷嘴，所述设备本体内部卡压有隔板，所述隔板一侧成型有高压清洗箱，所述隔板另一侧成型有超声波清洗箱，所述高压清洗箱顶部合页连接有盖板一，所述盖板一和所述高压清洗箱内壁上均插接有所述清洗喷嘴，所述清洗喷嘴一端插接有送液管道。有益效果在于：本实用新型通过设置高压清洗箱、清洗喷嘴以及无泡清洗剂罐，可预先通过高压水流冲洗掉基片上的颗粒粉尘，然后再经超声波清洗，可大大降低粉尘颗粒划伤基片的概率，同时又能在清洗剂的保护下，又进一步保护了基片。

基本信息

专利标题：

一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020947115.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-29

授权号：

CN212550726U

授权日：

2021-02-19

发明人：

黄拓其林新滨苏丁时

申请人：

福州蓝达光电有限公司

申请人地址：

福建省福州市闽侯县南屿镇元峰路小后山76号福建路政工贸有限公司工业园10号楼9层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020947115.2

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/12 B08B3/08 B08B11/00