一种三甲基铝提纯设备
授权
摘要

本实用新型涉及微电子材料领域,尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备,包括反应仓,所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器,所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒,所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管,所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿,所述反应仓的下端固定连接进气管,所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有搁板,所述搁板的内部中心处固定连接有加热块,所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒,该装置能够在通入惰性气体的时候,通过气压带动螺纹杆转动,进而使搅拌叶转动,这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌,使得三甲基铝与惰性气体更好的接触,使得到的三甲基铝更纯。

基本信息
专利标题 :
一种三甲基铝提纯设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122688974.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-03
授权号 :
CN216573030U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
陆平孟庆典
申请人 :
南大光电半导体材料有限公司
申请人地址 :
安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号
代理机构 :
广州高炬知识产权代理有限公司
代理人 :
薛鹏
优先权 :
CN202122688974.1
主分类号 :
B01J19/14
IPC分类号 :
B01J19/14  B01J19/18  B08B9/087  C07F5/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J19/00
化学的,物理的或物理—化学的一般方法;及其有关设备
B01J19/14
惰性气体混合物的产生;一般惰性气体的应用
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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