本申请涉及一种晶体颗粒电子束辐照加工冷却装置，包括：供水管道，所述供水管道上配置有压力变送器；所述供水管道经电动开关连通蓄水箱，所述蓄水箱内设置用于测量所述蓄水箱内液面高度的水位传感器，所述蓄水箱经输出管道连通电动水泵，所述电动水泵通过管道连通流量开关，所述流量开关连通冷却水槽；所述压力变送器、所述水位传感器、所述电动开关、所述电动水泵和所述流量开关电性连接控制模块。本申请在供水中断时通过蓄水箱和电动水泵继续提供冷却水，并通过水位传感器测量蓄水箱内的水位，一旦水位低于阈值在通过第二报警单元报警，根据第二报警单元的报警信息终止辐照作业。