集成化光波导装置的制造装置
授权
摘要
一种集成化光波导装置的制造装置，其中该集成化光波导装置包括一光波导结构部和一光栅结构部。该制造装置包括：一母板，其中该母板具有与一或多个该光栅结构部相对应的待转印的光栅结构，并且该光栅结构部包括多个光栅单元，其中多个该光栅单元分别沿着多条第一周期线、多条第二周期线以及多条第三周期线进行周期排布以形成一整块二维光栅结构，并且该第一周期线、该第二周期线以及该第三周期线之间的较小夹角均为60°；和一纳米压印装置，其中该纳米压印装置用于利用该母板加工形成该光栅结构部于该光波导结构部，以得到该集成化光波导装置。
基本信息
专利标题 ：
集成化光波导装置的制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122707433.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-05
授权号 ：
CN216526375U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
楼歆晔黄河郝芳林涛
申请人 ：
上海鲲游科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区江山路2699号4号厂房西区
代理机构 ：
深圳市兴科达知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐民奎
优先权 ：
CN202122707433.9
主分类号 ：
G02B6/12
IPC分类号 ：
G02B6/12 G02B6/124 G02B6/13 G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
