采用可转动触点对中机构
授权
摘要
本实用新型公开了采用可转动触点对中机构，包括：沿着预定方向滑动设置的第一对中调整构件和第二对中调整构件；调整部，分别形成于所述第一对中调整构件和所述第二对中调整构件；所述调整部设置有多组，所述第一对中调整构件上的调整部和第二对中调整构件上的调整部分别对应，以形成调整组，所述调整部沿内侧壁转动设置有多组陶瓷轴承。本实用新型通过陶瓷轴承形成可转动的触点，靠近晶圆偏离部分时，晶圆会产生一个切向力从而使陶瓷轴承发生转动，同时使晶圆发生相对运动靠近圆心，避免了晶圆圆心位置由于受微小径向力而移动的情况，也保护了晶圆不受伤害。
基本信息
专利标题 ：
采用可转动触点对中机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122773253.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-12
授权号 ：
CN216736435U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
魏猛王阳张也
申请人 ：
芯达半导体设备（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园C2-202单元
代理机构 ：
成都华复知识产权代理有限公司
代理人 ：
余鹏
优先权 ：
CN202122773253.0
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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