压力传感器
授权
摘要
本申请提供了一种压力传感器，解决了现有技术中压力传感器的灵敏度和稳定性不足的问题。本申请实施例通过在压敏电阻单元上方设置屏蔽图案，能够防止压敏电阻单元受到本身的截面的电荷或者从外部积累到传感器的表面电荷影响。同时，屏蔽图案通过第一通孔结构连接至衬底，可将电荷引入到衬底(固定电位)，降低电荷对压阻区域的影响，提高检测结果的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122824856.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216410458U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
吕萍胡维李刚
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW9楼102室
代理机构 ：
北京布瑞知识产权代理有限公司
代理人 ：
张畅
优先权 ：
CN202122824856.9
主分类号 ：
G01L1/16
IPC分类号 ：
G01L1/16 G01L9/08 B81B7/00 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/16
利用压电器件的性质
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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