本实用新型提供一种微波紫外臭氧杀菌机，包括机架，所述机架的一端设有驱动装置，所述机架的另一端设有涨紧装置，所述机架上位于所述驱动装置和所述涨紧装置之间设有输送带，所述机架上设有杀菌腔体，所述输送带穿过所述杀菌腔体内，所述杀菌腔体上设有杀菌装置，所述杀菌腔体上还设有风量调节装置；所述杀菌装置的设置将电能转化为微波电磁能，微波电磁能激发无极灯管产生紫外线，可通过所述风量调节装置调风量来调节臭氧浓度；可调节物料在微波紫外臭氧环境中的温度与时间，本新型是结合微波能、紫外线、臭氧三种杀菌方式为一体的新型杀菌设备。